滑竿式三温区PECVD系统由TL1200真空立式炉、石英真空室、射频电源、GX供气系统、抽气系统、真空测量系统组成。滑竿式三温区PECVD系统采用双层壳体结构，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，抽真空时真空度能够达到10^-3Pa。该炉安装有行程开关，当炉盖打开时会自动切断电源，有效地保证使用者的安全。该炉通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。广泛应用于各种薄膜的生长。

 滑竿式三温区PECVD系统技术参数：

1.型号：TL1200-1400-1200-H-PE-I                        2.各温区额定温度：1100℃  ‚1300℃ ƒ1100℃

3.炉管长度：Φ60X2700mm                               4.各温区最高温度：1200℃  ‚1400℃ ƒ1200℃

5.功率：6KW                                                   6.电压：220V                                          

7.各温区加热段：200mm+200mm+200mm                     8.升温速率：≤30℃/min 

9.加热元件：ƒ瑞典康泰电阻丝‚硅碳棒               10.各温区热电偶：K型   ‚S型   ƒK型   

11.温控方式：智能化30段可编程控制                      12.真空法兰和接头：详细参数请转看第31页  

13.质量流量计：详细参数请转看彩页第31页   

14.射频电源：详细参数请转看彩页第31页