inficonBPG402

inficonBPG402益处

测量范围非常广，从 5×10-10 毫巴至大气压（3.8×10-10 托至大气压）
10-8 … 10-2 毫巴过程压力范围内 5% 的优良可重复性
皮拉尼联锁保护单丝，防止过早烧毁
两根使用寿命长的氧化钇铱丝
备有可选的图形显示屏和现场总线接口
高真空皮拉尼自动调节，减少操作员干预
易于更换的传感元件与板载校准数据确保高再现性
RoHS 合规

inficonBPG402典型应用

对半导体过程和传输腔室的压力测量
工业镀膜
低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制

规格

类型		BPG402-S
测量范围（空气、O2、CO、N2）		5×10-10 … 1000
精度
10-8 … 10-2 毫巴	% of reading	±15
可重复性
10-8 … 10-2 毫巴	% of reading	5
除气 (1)
p < 7.2 × 10-6	mbar	electron bombardment, max. 3 min
压力，最大	bar (absolute)	2
温度
运行（环境）	°C	0 … +50
贮存	°C	-20 … +70
在法兰处烘烤，无电子设备 BPG402-S	°C	80
无电子设备，在法兰处烘烤 BPG402-SL	°C	150
电源电压		+20 … +28
输出信号模拟
输出信号	V	0 … +10
测量范围	V	+0.774 … +10
电压与压强	volts per decade	0.75
错误信号	V	0.1 / 0.3 / 0.5
最小负载电阻	kΩ	10
设定点继电器
设定点数量		1
范围	mbar	1×10-9 … 100
继电器触点		n.o., potential free
滞后	% of reading	10
触点额定值		≤30
数字功能		degas
接口（数字）(2)		RS232C
发射控制		automatic / manual via interface
单丝		two Yt2O3 coated Ir
单丝状态/继电器		LED / relay
电气连接		D-Sub, 15-pin, male
电缆长度，最大 (3)	m (ft.)	100 (330)
暴露于真空的材料		Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
内部容积 KF / CF	cm³ (in.³)	24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CF	g	450 / 710
保护等级		IP30
Profibus DP
波特率		9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址		2 switches (address 00 - 127) or network programmable
数字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模拟功能		0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
设定点继电器：设定点数量		2
设定点继电器：范围	mbar	1×10-9 … 100
设定点继电器：继电器触点		n.o., potential free
设定点继电器：滞后	% of reading	10
设定点继电器：触点额定值		≤30
Profibus DP 连接器		D-Sub, 9-pin, female
CDG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器		D-Sub, 15-pin, male
DeviceNet™
协议		DeviceNet™, group 2 slave only
数据率开关	kBaud	125, 250, 500 or network programmable
电缆长度 125 kbps	m (ft.)	500 (1650)
电缆长度 250 kbps	m (ft.)	250 (825)
电缆长度 500 kbps	m (ft.)	100 (330)
MAC ID		2 switches (address 00 - 63) or network programmable
数字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模拟功能		0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
技术规格		DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
设备类型		''CG'' for combination gauge
I / O 从属传讯		polling only
设定点继电器：设定点数量		2
设定点继电器：范围	mbar	1×10-9 … 100
设定点继电器：继电器触点		n.o., potential free
设定点继电器：滞后	% of reading	10
设定点继电器：触点额定值		≤30
DeviceNet™ 电源电压		+11 … +25
真空计电源电压		+20 … +28
DeviceNet™ 连接器		Microstyle, 5-pin
BPG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器		D-Sub, 15-pin, male
以太网
以太网协议		protocol specialized for EtherCAT
通讯标准		ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
节点地址		Explicit Device Identification
物理层		100BASE-Tx (IEEE 802.3)
以太网数字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning information
过程数据		Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
邮箱 (CoE)		SDO requests, responses and information
以太网连接件		RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
电缆		shielded Ethernet CAT5e or higher
电缆长度	m (ft.)	≤100 (330)

1) 除气期间降低精度

2) 同时使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器，不允许使用现场总线

3) 适用于 RS232C 运行 <30m

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