日东电工 HR3000III
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仪表展览网>产品库>贴膜撕膜
价格: 面议
产品型号:HR3000III
公司名称:上海瞻驰光电科技有限公司
地:上海松江
发布时间:2024-07-05
上海瞻驰光电科技有限公司
产品简介
该设备可将保护胶带粘贴在晶圆图案表面上,用于背面研磨处理   具有前开式晶圆盒/开放式晶圆匣   低拉力粘贴/粘贴应力控制   可通过触摸面板和配方功能实现简易操作   日志文件功能标准设备   具有胶带下垂检测功能   符合 CE 标志和 SEMI S2/S8规范要求   可添设晶圆映射扫描仪   符合 SECS/GEM 标准   可用晶圆尺
产品详情




HR3000III


具有前开式晶圆盒


开放式晶圆匣


具有剥离触发器,因此具有稳定的剥离效果


通过对剥离棒的准确控制可实现较低应力的剥离


可通过触摸面板和配方功能实现简易操作


日志文件功能标准设备


符合 CE 标志/SEMI S2/S8规范要求


可添设晶圆映射扫描仪


符合 SECS/GEM 标准


可用晶圆尺寸:300 mm/200 mm


可用晶圆厚度:100 um 或更厚


吞吐量:60晶圆/小时




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