300mm晶圆容器设备的使用FOSB和FOUP等特别的细微化，近年来随着微粒污染不仅分子污染排除的要求也变大了。
丹・タクマ它们的要求，为了响应，传统的清洁烤炉，本公司的分子污染防治技术，加上微粒污染物化学污染不仅物也排除了超清洁空间可以在干燥的下一代的保洁烤炉开发了。

本产品是以前的0.1μ10级对应的高清洁度温风循环式清洁烤炉，丹・タクマ化学过滤器”PURATEX”载有外部的化学的污染物的进入，并且能够防止内部部件的排气极力减低，使其干燥的时候被　干燥物中去分子污染尽量降低了清洁烤炉。特别是晶圆厌恶硼和磷，有机物等对策被。