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変換素子にひずみゲージを使用して、センサ内部でブリッジを構成した小型薄肉構造をした圧力センサです。スパッタリングとフォトリソグラフィ技術による薄膜ひずみゲージをダイヤフラム上に直接形成してあります。取り付けは接着剤を使用して行います。主に気体計測用に開発されたものです。
注1)接液部の材質は銅合金を使用しています。本材質が腐食する恐れのある液体、気体には使用しないでください。
注2)接液部の組立に接着剤を使用しております。有機溶剤(トルエン、ケトン類など)の測定には使用できません。
注3)高温高湿の場所で長時間測定することはできません。
注4)水中で使用できません。
定格容量 | 50kPa |
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非直線性 | ±1%RO以内 |
ヒステリシス | ±1%RO以内 |
定格出力 | 1mV/V(2000×10-6ひずみ)以上 |
ケーブルの引き出し方向 | 受圧面に対して平行方向 |
許容温度範囲 | -20~70℃ |
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温度補償範囲 | 0~50℃(AF,BFは結露しないこと) |
零点の温度影響 | ±0.8%RO/℃以内 |
出力の温度影響 | ±0.3%/℃以内 |
許容印加電圧 | 4V ACまたはDC |
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推奨印加電圧 | 1~2V ACまたはDC |
入力抵抗 | 350~1000Ω |
出力抵抗 | 350~1000Ω |
ケーブル | 外径0.08mm,ポリウレタン銅線5cm, 先端はんだあげ |
許容過負荷 | 150% |
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固有振動数 | 約18kHz |
質量 | 0.15g |
構造 | 密閉型 |