激光扫描共聚焦显微镜Axio CSM700

系统介绍

Axio CSM700 真实色共聚焦显微镜以共聚焦光学为基本原理， 使用高速线扫描为成像方法， 并采用氙灯为真实色光源， 是一款能够快速提供工业零部件表面彩色三维轮廓， 并且完全不接触测试样品的仪器设备。它具有三大“独门绝技” ：共聚焦、线扫描、白光源。由于采用了共聚焦成像原理，Axio CSM700 将传统光学分辨率提高 1.4 倍，其 XY 方向线分辨率达到 160 nm。 同时， 在充分利用共聚焦能提供高度信息的基础上， Axio CSM700配备了精度高、重复性好的 Z 轴自动步进装置，最小步进精度达到 10nm，这使得高度上亚微米，甚至纳米尺度的非接触式精确测量成为可能。传统共聚焦采用点扫描成像，速度较慢；而 Axio  CSM  700 采用线扫描，成像速度大大提高，最快的 WF 模式扫描速度超过 100 幅/秒，可以说瞬间即可得到测量结果，大大提高工作效率。同时， Axio CSM700 使用白色光源， 能够展现被测试样表面的真实颜色， 从而将传统黑白共聚焦扫描显微镜拓展到更广阔的应用领域。

线扫描共聚焦成像原理

氙灯照明器 1 发出的白光经过线性照明器 2 变成一组线光源， 该组线光源随着 2 的精确移动从而实现在 XY 方向的线扫描。扫描光束经过半反半透分光镜 3，然后到达物镜最终到达样品表面 4，携带样品表面高度信息的光束从样品表面 4 反射， 经过分光镜 3 以及聚焦棱镜最后到达线性探测器 5，该线性探测器 5 通过与线性照明器 2 的精确同步，实现仅对焦平面光线的探测，也就是满足共聚焦基本原理的探测。最后，通过精密 Z 轴自动步进装置移动样品 4，得到样品表面不同高度位置的一系列聚焦图像，计算机系统计算得到样品表面三维形貌。