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模型 | SF-3 |
厚度测量范围 | 0.1μm至10μm,15μm至1000μm,10μm至775μm *,50μm至1600μm* |
重复性 | 0.01%以下 |
测量时间 | 最快200μs(5 kHz) |
测量光源 | 半导体光源 |
测量直径 | 最小φ6μm |
WD | 取决于10毫米或更多的任意距离 |
维 | 123(W)×224(D)×128(H)mm(不包括突起) |