1700℃三温区三通道混气CVD系统
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仪表展览网>产品库>低真空CVD系统
价格: 面议
公司名称:上海升利测试仪器有限公司
地:江苏昆山
发布时间:2019-06-10
上海升利测试仪器有限公司
产品简介
1700℃三温区三通道混气CVD系统其炉管直径为60mm,其真空泵采用双旋机械泵,混气系统为3路浮子混气系统。此高温炉烧结温度可达1700℃,真空度可达到5x10-2torr ,可以混合1-3种气体。
产品详情

技术参数

壳体结构

双层壳体结构并带有风冷,使得壳体的表面温度小于55

保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维,可以减少热量的损失

三个温区分别被三个独立的温控系统控制

功率

9KW

电压

AC 208-240V单相, 50/60 Hz

加热

·  总加热区长度: 25" (630 mm) 

·  加热温区1长度: 7.5" (190 mm) 1400°C 通过4根硅碳棒加热,最高温度可达1400℃

·  升温速率: 10°C/min

·  加热温区2长度:: 10" (250 mm)1700°C 通6根硅钼棒加热,最高温度可达1700℃

·  最快升温速率: 5°C/min

·  加热温区3长度:: 7.5" (190 mm) 1400°C 通过4根硅碳棒加热,最高温度可达1400℃

·  最大升温速率:  10°C/min

炉管和法兰尺寸

·  99.8%高纯刚玉管 purity Alumina Tube

·  (标配尺寸) ( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1200mm)L

·  (选配尺寸) ( 80mm) O.D.x I.D. (70mm) x  1200mm L

·  一对60mm的不锈钢密封法兰,法兰上已安装阀门和仪表

·   仪器中包括4个氧化铝管堵

低真空系统

·  采用双旋机械泵,其针对于本公司的管式炉,真空度可达到 10-2 Torr.

·  一个KF25的不锈钢波纹管已安装在真空系统上,其尺寸为 25mm Dia x 1000mm length ,可于管式炉上的法兰相连接

三路浮子混气系统

·  3个浮子流量计安装在一个移动架上,可以推动,可同时混入三种不同气体。

·  第一路气体流量范围为10-100 cc/min. 

·  第二路气体流量范围为16-160 cc/min.

·  第三路气体流量范围为25-250 cc/min.

·  一个压力表安装在移动加上,压力表直接于移动架内的混气箱相连接

·  移动架上安装有4个不锈钢针阀 

保修期

一年保修,终身技术支持

免责声明

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