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美商 nPoint 为奈米级定位 (nano positioning) 及奈米级移动量控制 (nano motion control )专家。其专利设计有:
Kinematic stage mounting,可有效解决由温度变化、压电材料(piezo material)应力作用下,所引起夹具(fixture)有奈米级之扭曲、变形现象。
独特C300 Digital Controller,为回路讯号控制( closed loop control)具高精度之电容式位置检测器 (capacitance sensor)、超快讯号回馈(sample interval)─ 24µs及使用者自行设定之PID(proportional、integral、differential控制参数,让 C300可精确控制每组独立轴之位置及移动量。由于nPoint 之每组移动轴(X,Y,Z轴)完全独立,可解决常见于AFM / SPM之Bowing问题-AFM / SPM三轴之压电材料封装在一起,当在作较大 X / Y方向移动时,Z轴会翘起来,造成测量大平面时,data 却显示弯曲。由于以上原因,AFM / SPM XYZ移动范围都十分小,不一定可完全满意您的需求。
nPoint 现提供解决方案,让您的AFM / SPM随时升级
(a)拥有更大之XYZ扫瞄范围,最大为 400 um x 400 um x 100 um ( XYZ)
(b)拥有立即放大功能(one click zooming)针对科研、医疗、航天之尖端应用
(c)没有AFM / SPM之飘移(drift)现象
(d)更高之位置重复性 ( higher position accuracy )
nPoint更提供完整之单轴(1 axis)、双轴(2 axis)及三轴 (3 axis)奈米级位移台, 有各种不同尺寸、承重以供选择。
应用广泛
改善聚焦能力,从而达到最佳映像
光罩检测
材料测试
原子力显微镜(AFM)、扫瞄式探针显微镜(SPM)
近场光学显微镜(Near-field Scanning optical Microscopy)
微缩影设备(Lithography)
奈米级超重(Nanometer scale manipulation)
微测量学 ( Metrology)
光纤对位 ( Optical fiber alignment )
NPXYZ100A
C 300 series controller
- 询价产品:nPoint - 为奈米级定位、移动量控制系统
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