molbox RFM 流量测量主机

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molbox RFM 是一个辅助单元，可使用 molbloc-L 层流和 molbloc-S 声速流元件进行质量流量测量。

molbloc 流量元件通过两个压力连接件和一根数据线连接到 molbox RFM 上。molbox RFM 从 molbloc EEPROM 读取校准数据，并利用其内置的高精度参考压力传感器 (RPT) 测量 molbloc 的上游压力和下游压力。欧姆测量系统读取 molbloc 铂电阻测温仪的电阻，然后由此计算 molbloc 温度。利用存储在 molbox RFM 内存中的 molbloc 校准数据、压力、温度和气体属性，可计算出通过 molbloc 的气流流速。对于 molbloc-L 流量元件，在流量量程 10% FS 以下时，可以选择微量程选项来提高流量测量分辨度和精确度。

molbox RFM 和 molbloc 流量元件应用广泛，适用于需要高精确度测量低气流的测量、测试和校准应用。对于主要考虑结构紧凑、量程可调性高、成本较低的应用来说，molbox RFM 是理想之选。第二种型号 molbox1+ 针对的优先考虑不确定度的应用。要配置质量流量校准系统，请查看随后几页，选择 molbloc 和压力相关校准，以便更好的覆盖您的流量量程和压力状况。molstic 安装系统和 COMPASS® for molbox 流量校准软件可以帮您完善系统。

·结构紧凑

·molbloc-L 覆盖的流量量程从 1 sccm 到 100 slm，而 molbloc-S 覆盖的流量上限更是达到了 5000 slm

·从 20 种不同的气体中选择

·利用 100:1 可调性实现认证的测量不确定度 ±0.5% 读数

·内部阀门，可实现内置的清洗、泄漏测试和自重支持

·包括求和、取平均值、高值/低值及偏差等高级测量函数

·完善的前面板控制以及 RS232 和 IEEE-488 远程通信

·利用可由用户设置的参考压力和温度状态，测量质量和体积流量

流量测量技术指标

molbox RFM 可测量通过 molbloc 流量元件的流量。molbloc-L 的流量量程、可用工作压力和压力差，或者 molbloc-S 的流量量程、绝压量程，取决于所使用的 molbloc 元件和校准选项。请参阅 molbloc-L 和 molbloc-S 量程表，了解校准和量程详情。

molbloc-L 量程最高可达 3E4，可通过微量程选项提高在 10% FS 以下时的分辨率和精确度。对于 1E5-L molbloc，必须使用微量程选项才能达到技术指标。

molbox RFM
	molbloc-L（量程从 1E1-L 到 3E4-L）	molbloc-S（所有量程）
测量更新速率	1 秒	1 秒
范围	到 molbloc 满刻度，取决于气体和 molbloc 压力取决于校准类型（请参阅 molbloc-L 量程表）	流量相对于 20 kPa 到 200 kPa 绝压（3 psia 到 30 psia）或 20 kPa 到 200 kPa 绝压（7 psia 到 70 psia）上游（请参阅 molbloc-S 量程表）
分辨率	0.01% FS	±0.01% 读数
线性	±0.23% 读数，从 10% 到 100% FS ±0.023% FS，在 10% FS 以下	±0.25% 读数
重复性	±0.1% 读数，从 10% 到 100% FS ±0.01% FS，在 10% FS 以下	±0.1% 读数
精确度¹	±0.25% 读数，从 10% 到 100% FS ±0.025% FS，在 10% FS 以下	±0.3% 读数
预测的稳定度² （一年期）	±0.15% 读数，从 10% 到 100% FS ±0.015% FS，在 10% FS 以下	读数的 ±0.2％
测量不确定度³	±0.5% 读数，从 10% 到 100% FS ±0.05% FS，在 10% FS 以下	±0.5% 读数，从 50 kPa 到 500 kPa，±0.5% 流量 @ 50 kPa 从 20 kPa 到 50 kPa

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具有微量程选项的 molbox RFM
	molbloc-L（量程从 1E1-L 到 3E4-L）	molbloc-L（量程仅仅是 1E5)
测量更新速率	1 秒	1 秒
范围	从 0 到 molbloc 满刻度，取决于气体和 molbloc 压力取决于校准类型（请参阅 molbloc-L 表格）	从 0 到 molbloc 满刻度，取决于气体和 molbloc 压力取决于校准类型（请参阅 molbloc-L 表格）
分辨率	0.01% FS，0.001% FS 以下 10% FS	0.01% FS
线性	±0.23% 读数，从 1% 到 100% FS；±0.0023% FS，在 1% FS 以下	±0.25% 读数，从 5% 到 100% FS ±0.0125% FS，在 5% FS 以下
重复性	±0.1% 读数，从 1% 到 100% FS ±0.001% FS，在 1% FS 以下	±0.2% 读数，从 5% 到 100% FS ±0.01% FS，在 5% FS 以下
精确度¹	±0.25% 读数，从 1% 到 100% FS ±0.0025% FS，在 1% FS 以下	±0.32% 读数，从 5% 到 100% FS ±0.016% FS，在 5% FS 以下
预测的稳定度² （一年期）	±0.15% 读数，从 1% 到 100% FS ±0.0015% FS，在 1% FS 以下	±0.2% 读数，从 5% 到 100% FS ±0.01% FS，在 5% FS 以下
测量不确定度³	±0.5% 读数，从 1% 到 100% FS ±0.005% FS，在 1% FS 以下	±0.5% 读数，从 5% 到 100% FS ±0.025% FS，在 5% FS 以下

molbloc-S（所有量程）

除了没有微量程以外，其他技术指标与 molbox RFM 相同。只要将 molbox RFM 连接到 molbloc-S 上，就会禁用微量程传感器。

1 精确度：包含线性度、迟滞和可重复性。

2 预测的稳定度：典型 molbox RFM 和 molbloc 在典型环境下使用时一年内从零到范围值的最大变化情况。由于稳定度只能是一种预测，因此应该根据经验建立特定 molbox RFM 的稳定度。

3 测量不确定度：molbox RFM 流量指示相对于通过 molbloc 的流量真值的最大偏差，包括精确度、稳定度和 DHI 校准标准不确定度。molbloc 的测量不确定度技术指标仅适用于使用的是 molbloc 校准过的气体的情况。所有 molbloc 都针对 N2 校准过。其他气体的校准是可选的。并非所有规格的 molbloc 在所有时间，对所有气体都提供 DHI 校准功能。请在订购前检查是否可用。

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molbox RFM 流量测量主机

molbox RFM

具有微量程选项的 molbox RFM