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型号 | Flex-85 | |
外形 | 3,000mm(宽) x2,500mm(长) x 2,500 mm (高 ) | |
重量 | 7500KG左右 | |
电力需求 | 380V,50Hz, 3Phase, approx. 50A Max | |
修复能力 | 可修复样品尺寸 | 3~85寸 |
可修复范围 | 显示区内任何位置 | |
修复时间 | 120S左右每个像素(尺寸200um*100um的pixel) | |
适用产品类型 | Cell段产品(OLED面板,IPS,ON-CELL/IN-CELL等TFT面板),模组段产品(已贴偏光片,带TP模组) | |
遮光性 | 修补颜色在模组背光下不可见 | |
平台功能 | Gantry结构 | 龙门式 |
X-Y-Z 行程 | 2000*1200*50mm | |
移动精度 | 0.1um | |
X-Y运动速度 | 0~200mm/s | |
Z 运动速度 | 0~2mm/s可调 | |
定位 | AOI坐标自动定位 | |
光学特性 | 光路系统倍率 | 50X~ 1000X ,5X ,10X ,20X ,50X,100X Objects |
物镜切换速度 | 0.2~0.7s | |
聚焦 | 激光自动聚焦 | |
光学分辨率 | 0.7um | |
相机 | 200W/500W像素工业相机 | |
激光特性 | 激光系统 | 激光切割系统(5~500 nj/Pluse Maximum@250KHz,20X object,532nm) |
能量调节精度 | 0-1000 steps | |
0-100% | ||
激光波长 | 1064nm,532nm,355nm | |
脉宽 | 500fs | |
光斑尺度 | 0.8~1.5um @100X object | |
1.0~3.0um @50X object | ||
激光寿命 | >10年,维护间隔>6,000小时 | |
扫描面能量均匀性 | 优于5% IR | |
工作模式 | Scan扫描式 | |
扫描形状 | 可任意定义形状 | |
工艺参数 | 软件可以添加任意组工艺参数 | |
控制 | 工作模式 | 自动修复,实现数据的自动导入和输出,联机通讯 |
手动或者半自动修复 | ||
上下片 | 机械手或者流水线 | |
CIM系统 | 有 | |
减震 | 主动式减震系统,能够实现50X 物镜下画面不抖动 | |
工业PC | 23寸显示器&电脑:i7 处理器,1TB硬盘2块(其中一块为备份硬盘),8G内存,1G独立显卡,DVD-ROM | |
通讯接口 | RS232/EtherCAT/GPIB等 | |
安全 | 整机带屏蔽罩,操作人员在屏蔽罩外操作 | |
紧急开关EMO | ||
限位sensor,运动平台和激光系统限位互锁 | ||
Interlock报警,自动关闭系统(软件设置为可选) | ||
应用 | TFT-LCD Panel亮点的修复,OLED Panel亮点的修复 |