Felles 多功能翘曲度测量仪是孚光精仪公司进口的全球领先的翘曲度检测仪器，一套翘曲度测试仪器可以测量：热沉,晶圆(wafer),太阳能电池和硅片翘曲度,应力以及表面形貌。Felles 多功能翘曲度测量仪适合光伏电池翘曲度测量,太阳能电池翘曲度测量,晶圆翘曲度测量,硅片翘曲度测量,晶片翘曲度测量。

Felles 多功能翘曲度测量仪功能

特别为半导体晶圆（wafer)和太阳能电池（solar cell)的翘曲度（warp) 和弯曲度(bow)以及表面形貌(topography)的测量而设计，

可以测量晶圆翘曲度（wafer warpage) 和晶圆表面形貌, 晶圆应力,硅片张力,太阳能电池量子效率.
既适合科研单位使用，也适合工业客户大产品、高效率的晶圆翘曲度和表面形貌的检测的需要。
我们还根据不同晶圆类型提供如下两种硅片翘曲度测量仪：
1. 非反射型：适合晶圆表面覆盖晶圆保护膜/胶带（wafer tape)，图案化晶圆 /图样化晶圆（patterned wafer)，粗糙的晶圆的应用；
2. 高反射型： 适合晶圆表面光滑 / 镜反射的应用。

Web: www.felles.cn                    （激光光学精密仪器官网）
         www.felles.cc                     （综合性尖端测试仪器官网）
         www.f-lab.cn                       （综合性实验室仪器官网）

Felles 多功能翘曲度测量仪主要参数：
× 翘曲度测量范围：1-20微米；
* 重复精度： 百分之0.5 （1 sigma);
* 给出结果：曲率半径,晶圆弯曲高度，翘曲度，测量日期和时间；
* RMS粗糙度mapping: 0.5-20A （可选项）；
* 光源：根据用户的应用而配备不同光源；
* 探测器：高分辨率探测器阵列并配备亚像素软件；