xyzθ定位平台采用美国Aerotech公司高精度定位台构造，实现在XYZ-Theta四维精确定位，也是全球领先的xyzθ定位台和xyzθ位移台。

xyzθ定位平台采用XY位移台实现XY定位，采用升降台实现Z轴定位，采用旋转定位台进行Theta定位，采用全数字伺服控制器，从而实现100mm x 100mm x 16mm x 360degree 的xyzθ定位，分辨率高达1nm 和0.36arcsec。