Felles 无掩膜光刻机
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价格: 面议
公司名称:孚光精仪(中国)有限公司
地:天津南开区
发布时间:2016-10-20
孚光精仪(中国)有限公司
产品简介
Felles 无掩膜光刻机具有无掩模技术的便利,大大提高影印和新产品研发的效率,节省时间,是全球领先的无掩模光刻系统。Felles 无掩膜光刻机直接用375nm或405nm紫外激光把图形写到光胶衬底上。
产品详情

Felles 无掩膜光刻机具有无掩模技术的便利,大大提高影印和新产品研发的效率,节省时间,是全球领先的无掩模光刻系统Felles 无掩膜光刻机直接用375nm405nm紫外激光把图形写到光胶衬底上。

Web: www.felles.cn                    (激光光学精密仪器官网)
         www.felles.cc                     (综合性尖端测试仪器官网)
         www.f-lab.cn                       (综合性实验室仪器官网)


Felles 无掩膜光刻机特色
尺寸:925x925x1600mm
内置计算机控制接口
激光光源:375nm405nm
视频辅助定位系统
自动聚焦设置

Felles 无掩膜光刻机参数
线性写取速度:>500mm/s
重复精度: 100nm
晶圆写取面积:16英寸
衬底厚度:250微米-10毫米
激光点大小:1-100微米
准直精度:500nm

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