多功能扫描探针显微镜是欧盟革命性的高分辨率扫描探针显微镜， 它具有目前世界上最为紧凑的机构构成，同时可作为扫描探针显微镜和原子力显微镜使用。高分辨率扫描探针显微镜装配有不同类型的纳米定位平台，包括各种扫描位移台，以确保用户大面积扫描样品。

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高分辨率扫描探针显微镜特色

• 双光学样品观察（正置和倒置）

• 扫描尺度高达 250 μm

• 全自动样品拾取

• 具有最佳的多功能性，
• 可提供EFM, MFM, STM, Phase Imaging, CAFM, KPM 等诸多模式供用户使用
  

X-Y 扫描尺寸

• 100 x 100μm (高压模式);

• 10 x 10 μm (低压模式)

• 高电压模式闭环分辨率: 2 nm

• 高电压模式开环分辨率: 0.2 nm

• 闭环线性： 0.1%.

Z 方向扫描尺寸:

• 10 μm (高压模式)

• 1 μm (l低压模式)

• 分辨率: 0.16 nm (高压模式), 0.02 nm (低压模式)

高分辨率扫描探针显微镜特色