纳米扫描台Nano Scanning Stage 8NTS-01XY是平行平面的定位和扫描设备。它是一个单片金属体(通常由高质量的铝合金制成),采用了EDM电线腐蚀和其他精密机械手段构建通道,通道是供压电陶瓷致动器、工作台的移动元件使用的。
8NTS-01XY的该种设计使得运动有着近完美的直线度和平面度,与经典的使用压电陶瓷管的扫描仪相比,它是在球面扫描物体表面的。此外,与脆弱的压电管相比,平行平面纳米扫描台具有高机械强度。
纳米扫描台8NTS-01XY的所有轴都配备了电容位移传感器,包括在数字反馈链内。它提供了高精度和线性运动,消除了压电陶瓷漂移(缓变)的影响。其测量部分是基于TDC(时间数字转换器),安装在离传感器最近的位置,会立即测量出数字信号和测量电容的比例。将最大限度地减少了外部电磁噪声的影响,并使用长电缆连接扫描台到控制器。
使用通用的控制器 8NSC-3061和软件 NSpec控制
8NTS-01XY纳米扫描台。
其实,
平面台8NTS-01XY +全功能的SPM控制器8NSC-3061+通用软件NSpec组成进行完成扫描,数据采集和可视化系统,该系统会是所有扫描显微镜的“核心”部分,可以完全适应任何“自制”系统。对于那些使用自制物理信号纳米传感器获取信号在纳米尺度的分布的客户,购买该系统,将大大节省科学项目的时间和资源。
电子控制器8NSC-3061控制SPM或共聚焦显微镜的性能。控制器会从系统传感器和外部设备采集数据,将控制电压应用到扫描台的压电致动器,所有采集的信息会传输到PC工作站,使可视化和进行处理。控制信号由PC机传输到控制器,用于调整所有系统参数
。8NSC-3061控制器的一个重要部分是闭环反馈系统。其基于高质量的20位TDC(时间数字转换器)来测量电容位移传感器。任何可用的系统信号都可以用在SPM反馈。控制器能够同时操作6个通道得到反馈,这样既可以通过顶端又可以通过样品扫描。
8NSC-3061 SPM控制器有2-通道锁相放大器来提供共振SPM技术,例如非接触扫描模式。锁相放大器中包括基于数字频率合成器的高稳定电压发生器。采用可编程逻辑(结合),实现了高速数据处理,可以在高达1.5MHz带宽时进行高质量锁定。
8NSC-3061配置了麦芽通道(12条)步进电机,控制微步进,粗略调整扫描头。
纳米扫描台的控制器有外部模拟输入和输出,来连接外部设备和同步输入和输出。通过USB接口连接到PC工作站。设计通用软件Nspec是专门设计用于
8NSC-3061 的,它可以运行一套现代SPM技术,具有广泛处理数据的可能性。 软件Nspec可以在不同的操作系统下运行。
产品规格
XY范围 100x100 µm
最小扫描步进 0.1 nm
整范围内的角度倾斜 < 0001°
最大扫描速度 10 Hz(行/秒)
最大样品重量 100g
谐振频率XY 1 kHz
非线性残余 ≤0.03%
传感器类型 电容传感器
内置TDC(时间数字转换器)位数 24位