筛选
-
- 地区
- 全部
-
- 会员级别
- 全部
OLYMPUS MX61L 16寸半导体检测显微镜
在对比度的决定上起重要作用的孔径光阑(AS)的开闭调节,与物镜的切换和观察模式连动,用一个按钮就可以操作。此外,用一个手指就可以调光的旋钮也配置在前面板上,从而提高了检查速度。物镜和孔径光阑(AS)的按钮分别斜向配置,手不离开对焦手柄,只要轻动大拇指就可以操作。这个按钮的倾斜式设计提高了手指尖的感知度,能够防止错误操作。
|
![]() 倾斜镜筒示意图 |
为了适应视点而调整座椅的高度,或是以不合理的姿势进行检查的话会浪费时间,降低工作速度。但是,配备倾斜角度为0°~42°(可变高度为150 mm,SEMI S8对应)的倾斜镜筒,可采取与检查者体格无关的舒适观察姿势,甚至可以站立检查。此外,这一款镜筒拉长了从观察中心轴到观察者视点的距离,可以在较大的平台上轻松操作。
|
![]() 内置离合器的载物台手柄 |
对应300 mm晶圆/17英寸面板的MX-SIC1412R2载物台有较大的透射照明范围(Y方向284 mm)。另外,内置离合器的载物台手柄,可切换粗调和微调。在显微镜观察的同时能自由地移动载物台,快速完成检查。
|
物镜是观察样品的照明和观察的重要部件,奥林巴斯有应对多种多样的观察方法、长工作距离、红外光及LCD检查用的齐全的物镜产品阵容可供选择。
OLYMPUS MX61L 16寸半导体检测显微镜
丰富的产品阵容,可按需选择
|
|||||||
MPLAPON
|
平场复消色差透镜
|
||||||
MPLFLN
|
平场半复消色差透镜
|
||||||
MPLFLN-BD
|
明暗视场用平场半复消色差透镜
|
||||||
MPLFLN-BDP
|
反射偏振光用平场半复消色差透镜
|
||||||
LMPLFLN
|
长工作距离平场半复消色差透镜
|
||||||
LMPLFLN-BD
|
明暗视场用长工作距离平场半复消色差透镜
|
||||||
MPLN
|
平场消色差透镜
|
||||||
MPLN-BD
|
明暗视场用平场消色差透镜
|
||||||
SLMPLN
|
超长工作距离平场消色差透镜
|
||||||
LCPLFLN-LCD
|
液晶长工作距离平场半复消色差透镜
|
||||||
半导体/FPD检查显微镜 规格
|
MX61L
|
MX61
|
|||||
光学系统
|
UIS2光学系统(无限远校正)
|
||||||
机身
|
观察方法
|
明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光
|
|||||
反射/透射
|
反射/透射
|
||||||
照明装置
|
机身一体型(明视场,暗视场+1选件)
|
||||||
照明系统
|
反射照明
|
100 W卤素/100 W水银/75 W氙
|
|||||
透射照明
|
纤维光导
|
||||||
对焦单元
|
电动/手动
|
手动
|
|||||
行程
|
32 mm
|
||||||
分辨率/微调灵敏度
|
微调旋钮转动1周移动0.1 mm
|
||||||
最大样本高度
|
30 mm
|
||||||
物镜转换器
|
电动型
|
明视场微分干涉6孔
|
|||||
明暗视场微分干涉5孔
|
|||||||
明暗视场微分干涉6孔
|
|||||||
明暗视场微分干涉中心输出5孔
|
|||||||
手动式
|
-
|
||||||
载物台
|
行程
|
14×12英寸右下手柄:
356(X)×305(Y)mm (透射照明范围356×284 mm) |
8×8 英寸右下手柄:
210(X)×210(Y)mm (透射照明范围189×189 mm) 6×6 英寸右下手柄: 158(X)×158(Y)mm |
||||
观察筒
|
广角视场
(视场数22) |
倒置
|
双目/三目观察筒
|
||||
正像
|
三目观察筒
|
||||||
超宽视场
(视场数26.5) |
倒置
|
三目观察筒
|
|||||
正像
|
倾斜三目观察筒
|
||||||
附件单元
|
DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载
|
||||||
外形尺寸
|
710(W)×843(D)×507(H)mm
(标准组合) |
509(W)×843(D)×507(H)mm
(标准组合) |
|||||
重量
|
51 kg(标准组合)
|
40 kg(标准组合)
|