OLYMPUS MX61L 16寸半导体检测显微镜

在对比度的决定上起重要作用的孔径光阑（AS）的开闭调节，与物镜的切换和观察模式连动，用一个按钮就可以操作。此外，用一个手指就可以调光的旋钮也配置在前面板上，从而提高了检查速度。物镜和孔径光阑（AS）的按钮分别斜向配置，手不离开对焦手柄，只要轻动大拇指就可以操作。这个按钮的倾斜式设计提高了手指尖的感知度，能够防止错误操作。

OLYMPUS MX61L 16寸半导体检测显微镜观察姿势迅速到位的倾斜镜筒

倾斜镜筒示意图

为了适应视点而调整座椅的高度，或是以不合理的姿势进行检查的话会浪费时间，降低工作速度。但是，配备倾斜角度为0°～42°（可变高度为150 mm，SEMI S8对应）的倾斜镜筒，可采取与检查者体格无关的舒适观察姿势，甚至可以站立检查。此外，这一款镜筒拉长了从观察中心轴到观察者视点的距离，可以在较大的平台上轻松操作。

高灵敏度载物台可以迅速决定位置

内置离合器的载物台手柄

对应300 mm晶圆／17英寸面板的MX-SIC1412R2载物台有较大的透射照明范围（Y方向284 mm）。另外，内置离合器的载物台手柄，可切换粗调和微调。在显微镜观察的同时能自由地移动载物台，快速完成检查。

瑞科中仪向您推荐的奥林巴斯显微镜具有鲜明图像和卓越的分辨率为特点的光学系统多种选择，可实现卓越的成像性能。

物镜是观察样品的照明和观察的重要部件，奥林巴斯有应对多种多样的观察方法、长工作距离、红外光及LCD检查用的齐全的物镜产品阵容可供选择。

OLYMPUS MX61L 16寸半导体检测显微镜

丰富的产品阵容，可按需选择
MPLAPON			平场复消色差透镜
MPLFLN			平场半复消色差透镜
MPLFLN-BD			明暗视场用平场半复消色差透镜
MPLFLN-BDP			反射偏振光用平场半复消色差透镜
LMPLFLN			长工作距离平场半复消色差透镜
LMPLFLN-BD			明暗视场用长工作距离平场半复消色差透镜
MPLN			平场消色差透镜
MPLN-BD			明暗视场用平场消色差透镜
SLMPLN			超长工作距离平场消色差透镜
LCPLFLN-LCD			液晶长工作距离平场半复消色差透镜
	半导体／FPD检查显微镜规格				MX61L	MX61
	光学系统				UIS2光学系统（无限远校正）
	机身	观察方法			明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光
		反射/透射			反射/透射
		照明装置			机身一体型（明视场，暗视场＋1选件）
		照明系统		反射照明	100 W卤素/100 W水银/75 W氙
				透射照明	纤维光导
		对焦单元		电动/手动	手动
				行程	32 mm
				分辨率/微调灵敏度	微调旋钮转动1周移动0.1 mm
				最大样本高度	30 mm
		物镜转换器		电动型	明视场微分干涉6孔
					明暗视场微分干涉5孔
					明暗视场微分干涉6孔
					明暗视场微分干涉中心输出5孔
				手动式	-
	载物台	行程			14×12英寸右下手柄： 356（X）×305（Y）mm （透射照明范围356×284 mm）	8×8 英寸右下手柄： 210（X）×210（Y）mm （透射照明范围189×189 mm） 6×6 英寸右下手柄： 158（X）×158（Y）mm
	观察筒	广角视场（视场数22）		倒置	双目/三目观察筒
				正像	三目观察筒
		超宽视场（视场数26.5）		倒置	三目观察筒
				正像	倾斜三目观察筒
	附件单元				DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载
	外形尺寸				710（W）×843（D）×507（H）mm （标准组合）	509（W）×843（D）×507（H）mm （标准组合）
	重量				51 kg（标准组合）	40 kg（标准组合）