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VTC-16-3HD 3靶等离
产品名称
VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪
产品型号
VTC-16-3HD 3
安装条件
本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:不需要
2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地
3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上)清洗,需自备氩气气瓶
4、工作台:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上
5、通风装置:需要
主要特点
1、PLC控制面板,4.3″触摸屏,PID控温方式。
2、可控参数包括真空度、电流、靶材位置、基片加热温度。
3、可与真空泵、不锈钢波纹管KFD25快速卸装卡箍连用。
4、已通过CE认证。
技术参数
1、输入功率:110V/220V通用 2000W(含真空泵)
2、输出功率:1600VDC 50mA(max电流)
3、石英罩:Ø160mm×120mm
4、样品台:Ø50mm(可选购加热型样品台,极限温度可到500℃;极限溅射时间不可超过5min)
5、真空泵:120L/M旋片式真空泵
6、进气口:装有精密可调针阀,以实现方便的调节进气量
7、靶材:尺寸直径Ø47mm,厚度0.5mm-3mm;可溅射Au、Ag、Pt、Cr、Ni,不可溅射氧化物、半导体、一些轻金属、Al、Zn、C等
产品规格
尺寸:360mm×350mm×3600mm;重量:50kg
可选配件
1、KF25真空接口、卡箍
2、不锈钢波纹管(600mm)
3、旋片式真空泵(120L/M)
4、铂、银、锌等各种高纯度金属靶材
5、加热型样品台
- 询价产品:VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪 VTC-16-3HD
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