筛选
-
- 地区
- 全部
-
- 会员级别
- 全部
光谱椭偏仪FE-5000日本OTSUKA大塚电子光谱椭偏仪FE-5000日本OTSUKA大塚电子光谱椭偏仪FE-5000日本OTSUKA大塚电子光谱椭偏仪FE-5000日本OTSUKA大塚电子光谱椭偏仪FE-5000日本OTSUKA大塚电子光谱椭偏仪FE-5000日本OTSUKA大塚电子
試料にs波とp波を含む直線偏光を入射し、その反射光の楕円偏光を測定します。s波とp波は位相と振幅が独立に変化して、試料に依存した2種類の偏光の変換パラメータであるp波とs波の反射率の比tanψおよび位相差Δが得られます。
型式 | FE-5000S | FE-5000 |
測定サンプル | 反射測定サンプル | |
サンプルサイズ | 100x100mm | 200x200mm |
測定方式 | 回転検光子法*1 | |
測定膜厚範囲(nd) | 0.1nm~ | |
入射(反射)角度範囲 | 45~90° | 45~90° |
入射(反射)角度駆動方式 | 自動サインバー駆動方式 | |
入射スポット径*2 | 約φ2.0 | 約φ1.2sup*3 |
tanψ測定正確さ | ±0.01以下 | |
cosΔ測定正確さ | ±0.01以下 | |
膜厚の繰り返し再現性 | 0.01%以下*4 | |
測定波長範囲*5 | 250~800nm | 300~800nm |
分光検出器 | ポリクロメータ(PDA、CCD) | |
測定用光源 | 高安定キセノンランプ*6 | |
ステージ駆動方式 | 手動 | 手動/自動 |
ローダ対応 | 不可 | 可 |
寸法、重量 |
650(W)×400(D)×560(H)mm 約50kg |
1300(W)×900(D)×1750(H)mm 約24kg*7 |
ソフトウェア | ||
解析 |
最小二乗薄膜解析(屈折率モデル関数、Cauchy分散式モデル式、nk-Cauchy分散式モデル解析など) 理論式解析(バルク表面nk解析、角度依存同時解析) |
*1 偏光子駆動可能、不感帯に有効な位相差板着脱可能です。
*2 短軸・角度により異なります。
*3 微小スポット対応(オプション)
*4 VLSIスタンダードSiO2膜(100nm)を用いた場合の値です。
*5 この波長範囲内で選択可能です。
*6 測定波長により光源が異なります。
*7 自動ステージ選択時の値です。