HVPS SC 高压电源

HVPS/SC 是固态高压电源，具有在电子束 (e-beam) 真空沉积系统中使用的集成源控制器。其革命性的设计使其成为市场上最小、最有效并且功能丰富的高压电源之一。
性能强大

HVPS/SC 具有 4 至 10.2 千伏的可调输出电压以及 10 至 999 毫安的可调发射电流。这使其兼容各种电子枪。零电压开关 (ZVS) 技术和接近 1 的功率因数可帮助 HVPS/SC 实现超过 90% 的效率，具有小于 1% 的发射电流纹波，从而获得精密可靠的电子束。

经久耐用

HVPS/SC 非常坚固可靠。设计为连续工作和/或连续电弧，在 15 毫秒内就可实现完全电弧恢复。存储能量在 10 千瓦下低至小于 2 焦耳，从而有助于快速消除电弧并将对速率控制的影响降到最低。每个 HVPS/SC 均经过全面测试和强化测试，以确保正常运行和耐用性。

设计小巧，易于集成

HVPS/SC 将电源和源控制器通过“直接到灯丝”的设计相结合，无需外部灯丝变压器。这一设计使得占用的机架空间比多数竞争对手的电源和源控制器少一半有余，可以轻松集成到工具中。通过标准 USB、RS-232 和 RS-485 连接即可连接到 PC 或 PLC。

功能

4 至 10.2 千伏输出电压，10 至 999 毫安发射电流输出
超低存储能量（10 千瓦输出下小于 2 焦耳）
12 伏，70 安集成丝极电源用于调节发射
功率因数接近 1 且 >90% 的效率
精确： <1% 纹波和调节
快速电弧响应：约 15 毫秒内完全电弧恢复
坚固耐用：适合连续工作和在连续电弧下工作，或两者之间的任何情况
短路/过热/过电压保护
结构紧凑：高度为 3U
可编程电弧率阈值和电弧延迟
集成源控制（灯丝电流电源）和灯丝变压器，易于安装
集成电源线路滤波器

典型应用

单枪电子束沉积系统
双枪电子束沉积系统（需要两个 HVPS/SC）