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GM50A是一种金属密封的质量流量控制器,可在多种应用场合测量和控制气体的流量,特别是可重复性要求高的场合。配上合适的压力控制器,它还可以作为压力控制器使用。
对于当今市场上的质量流量控制器,GM50A可作为直接替代的产品,标准的3英寸底座使GE50A能够直接进行安装而无需改变现有的气体管道。它具有数字和模拟两种模式,其精度为全量程的1%。
技术参数:
全量程:10SCCM,20SCCM,50SCCM,100SCCM,200SCCM,500SCCM,1000SCCM,2000SCCM,5000SCCM,10000SCCM,50000SCCM。
控制量程:2% to 100%的全量程。
测量精度:全量程的1%
灵敏度:全量程的0.1%
热机时间:小于2Min.
响应速度:小于2Sec.
输入电压:±15VDC@100ma
输出电压:0-5VDC
连接器:模拟:9Pin或15Pin或20Pin Card edge.
数字:RS485或Device net或Profibus
法兰接口:Swagelok 4VCR,Swagelok4 VCO,Swage 1/4”等
材质:316不锈钢。
例:型号GM50A013502R6M010(代表的是气体介质是氮气,流量最大是500sccm,配件法兰接口是Swagelok 4VCR male,通讯接口是DeviceNet,密封材料是金属密封)
GM50A质量流量控制器 采购系列号GM50A
用于标准的气体(SEMI Gas编号)
氮气,N2 | 013 |
氨气,NH3 | 029 |
六氟化硫,SF6 | 110 |
流量范围,SCCM满量程(相当于氮气)
5 | 500 |
10 | 101 |
20 | 201 |
50 | 501 |
100 | 102 |
200 | 202 |
500 | 502 |
1000 | 103 |
2000 | 203 |
5000 | 503 |
10000 | 104 |
20000 | 204 |
30000 | 304 |
50000 | 504 |
装配件(法兰接口)
Swagelok 4VCR male | R |
1/4 Swagelok | S |
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通讯接口
Profibus | 4 |
RS485 | 5 |
DeviceNet | 6 |
Analog 0 to 5 VDC(9针D型) | A |
Analog 0 to 5VDC (15针D型) | B |
Analog 4 to mA(15针D型) | H |
密封材料
标配:金属 | M |
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预留MKS的未来应用
标准 | 0 |
固化软件版本
除非另有说明,MKS会安装订货日期的最新固化版本软件 | 10 |
满量程流量为3位数字显示,前两位表示量程流量的有效数字,由小数点分开;第三位表示10的指数
注:气体可选,完全替代MKS 1479A质量流量控制器
- 询价产品:MKS GM50A质量流量控制器 GM50A
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