英国爱德华pHMB1800
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价格: 面议
产品型号:英国爱德华pHMB1800 近程增压泵200-230V,50-60 Hz A53300958
公司名称:昆山熙日机械设备有限公司
地:江苏昆山
发布时间:2017-04-30
昆山熙日机械设备有限公司
产品简介
pHMB 机械增压泵 Edwards pHMB 近程增压泵是水冷却型正向罗茨真空泵,专为半导体行业中的负载锁定应用而设计。 这种泵可由变频器驱动,使用适当的前级泵进行控制。 英国爱德华pHMB1800 近程增压泵200-230V,50-60 Hz A53300958 英国爱德华pHMB1800 近程增压泵200-230V,50-60 Hz A53300958
产品详情

概述

pHMB 近程增压泵是一种水冷的正向罗茨真空泵,通过一个交流变频器驱动。
每个泵都必须使用按制程和性能规范而选择的适当 Edwards 干泵做为后援。
 
注意:这些系统不适合用作独立的装置。

应用

pHMB1800 系统只应在负载锁应用中使用。
  
pHMB 只能与 iF 前级泵系统一起使用。

技术数据

进气口法兰类型 ISO160
排气法兰类型 ISO100
电源 200-230 V,50-60 Hz,三相
电机额定功率 3.5 kW
水入口接头 3/8" 阳螺纹,快换接头
水出口接头 3/8" 阴螺纹,快换接头
最小冷却水流速 2 l min-1
冷却水供给温度范围 10-30 ºC
质量 289 Kg
极限噪音 <53.5 dBA
对前级管道产生的极限振动 <1.5mm/s
对地面产生的极限振动 <0.1 mm/s
工作压力范围(进气口) 极限真空至 1000 mbar*
工作压力范围(出口) 极限真空至 3000 mbar
达到标称泵性能的预热时间 15 分钟
泵送制程气体所需的最短预热时间 4 小时
工作环境温度范围 5ºC 至 40ºC
相对湿度 10-90%
存储 -40ºC 至 +55ºC
最大工作海拔高度 2000 m
污染度 2 (IEC60664-1)
与泵送气体接触的材料 钢、SG 铁、PTFE、氟橡胶和铝
变速箱油容量 0.7 l
油等级 SAE40/ISO150
推荐的油类型 Fomblin® 25/6 Krytox® 1525 Drynert® 25/6

  
* 在特定进气口压力下,pHMB 增压泵会由于气体压缩而变热,这会导致性能降低。如果较高的进气口压力在 3 分钟后得不到恢复,则增压泵可能会在这一较高压力下跳闸。
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