BGV 地下室插板阀是一系列由不锈钢制成，用波纹管密封的地下室隔离阀。它们是与 VAT 协作设计的，可以使泵在前级管线维护期间继续运行，从而使在严苛制程中运行的泵具有最高的可靠性和正常运行时间。BGV 阀适用于 1 x 10-9 mbar 到 1.2 bar（绝对）(1 x 10-7 到 1.2 x 105 Pa) 的工作压力范围。这种阀在任何方向都可以承受 1.2 bar 的绝对压力，并可承受阀密封两侧 1 bar 的差压。

虽然 BGV 阀主要用于隔离半导体工厂地下室内的泵，但这些阀也适用于开启时需要 1 bar 差压并容许 20000 次循环的其他应用场合。

• 与世界密封技术先驱 VAT 合作开发。
• 不锈钢结构，采用获得专利的可靠设计，使用寿命长
• 简单的无油脂机构最大程度减少了多尘制程中因微粒导致的损坏
• 可以在 1 bar 差压下运行，因此无需进行压力平衡
• 维修方便，只需要廉价的易耗品，低运行成本
• 表面光滑，易于清洁
• 提供时已安装螺线管和电线，便于订购和安装
• 即插即用，在使用可选的 BGV TIM 接口电缆的情况下与 Edwards 半导体干泵兼容。

泄漏值
壳体	< 1 x 10-9 mbar ls-1
阀座	< 1 x 10-7 mbar ls-1
压力范围	1 x 10-9 mbar 至 1.2 bara
插板上的压差	1.2 bar（在任一方向上）
打开时的压差	1 bar
首次检修前的循环数	5, 000
最高工作温度
阀体	120 °C
手动执行器	80 °C
气动执行器	80 °C
位置指示器	60 °C
螺线管阀	50 °C
分子流电导
NW50	300 ls-1
ISO63	400 ls-1
ISO80	1100 ls-1
ISO100	1700 ls-1
ISO160	4600 ls-1
重量
NW50	3.3 kg (7.3 lbs)
ISO63	6.6 kg (14.6 lbs)
ISO80	7.0 kg (15.4 lbs)
ISO100	8.5 kg (18.7 lbs)
ISO160	17.7 kg (39.0 lbs)
构造材料：
壳体	AISI 304 不锈钢
阀盖	黑色阳极化铝
插板	AISI 304 不锈钢
助滑器	PEEK
波纹管	AISI 633 不锈钢
密封件	氟橡胶
插板固定螺钉	A2 不锈钢 Ni-teflon 镀膜
手柄	强化聚酰胺
气动阀
螺线管阀额定值
标准螺线管阀	24V - 15%/+ 10%，直流/交流，2.4 W
位置指示器触点额定值	12 - 30 V 直流/交流，最大 500 mA，最大 10 W
气动供气
最小供应压力	58 psig（4 bar 压力表压力，5 bar 绝对压力，5 x 105 Pa）
最大供应压力	100 psig（7 bar 压力表压力，8 bar 绝对压力，8 x 105 Pa）
气动接头	R1/8 英寸（阀的 1/8 英寸 NPT 在美国订购）