筛选
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特点:
1. 优秀的低加速电压成像能力,1kv分辨率可达1.3nm
2. 日立专利的ExB设计,不需喷镀,可以直接观测不导电样品
3. 配置Lower、Upper和Top三个Everhart-Thornley型探测器
4. Upper和Top探头均可选择接受二次电子像或背散射电子像
5. 可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能
6. 标配有冷指、电子枪内置加热器,物镜光阑具有自清洁功能
7. 仪器的烘烤维护及烘烤后的透镜机械对中均可由用户自行完成
项目 | SU8020 | SU8030 | SU8040 | |||||
二次电子分辨率 | 1.0nm (加速电压15kV、WD=4mm) | |||||||
1.3nm (加速电压1kV、WD=1.5mm) | ||||||||
加速电压 | 0.1~30kV | |||||||
观测倍率 | 20~8000,000(底片输出) | |||||||
60~2,000,000(显示器输出) | ||||||||
样品台 | ||||||||
马达驱动 | 5轴 | REGULUS样品台 | ||||||
行程 | X | 0~50mm | 0~110mm | |||||
Y | 0~50mm | 0~110mm | 0~80mm | |||||
Z | 360° | |||||||
T | -5~70° | |||||||
R | 1.5~30mm | 1.5~40mm | ||||||
最大装载尺寸 | 100mm(最大) | 150mm(最大) | 150mm(最大) | |||||
150mm(选配) | 200mm(选配) | |||||||
探头 | ||||||||
标配 | Lower | 高立体感图像 | ||||||
Upper | 高分辨SE、LA-BSE图像 | |||||||
Top | SE的电位衬度像、HA-BSE图像 | |||||||
选配 |
STEM | 明场像、暗场像 | ||||||
YAG 探头 | BSE图像 | |||||||
半导体探头 | BSE图像 | |||||||
EBIC | 电子束感生电流图像 | |||||||
EDS | 元素分析 | |||||||
反污染措施 | ||||||||
冷指 | 标配 | |||||||
物镜光阑 | 内置自清洁功能 | |||||||
电子枪 | 内置加热器 | |||||||
真空系统 | ||||||||
离子泵 | 3台 | |||||||
分子泵 | 1台 | |||||||
机械泵 | 1台 |