Leybold莱宝PT80H DRY真空分子泵机组维修，Oerlikon  PT80H DRY Turbo Pumping Systems高真空分子泵系统是由莱宝SL80H涡轮分子泵和TRIVAC 1.4HV3前级油泵/涡旋真空泵SC5D等组成。进气法兰口DN63 ISO-K/DN63 CF，抽速可达到65 L/s，真空度10-7 mbar（0.75X10-7 Torr）。

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