Agilen安捷伦TPS-Compact  Dry  TwisTorr 84 FS分子泵机组保养，Agilen TPS-compact  TwisTorr 84 FS  Dry Turbo Pumping System便携式分子泵系统是由安捷伦TwisTorr 84 FS涡轮分子泵和IDP-3干式涡旋泵组成，进气法兰口KF40/ISO63,抽速可达到49 L/s-67 L/s，真空度5X10-9 mbar.

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