TAIKO大晃真空泵BEH-1800

日本TAIKO大晃干式螺杆式真空泵[详细内容]
1956年4月作为吸引工厂投资的第一家企业，大晃机械在日本山口县田布施町诞生。之后不断地进行新产品的开发和原有产品的更新换代，及时满足多样化的产品需求。作为流体机器的综合性企业，大晃积累了独特的技术和智慧。

“从油到水，到空气，再到真空”，这是我们事业发展的轨迹。近年来，我们开始生产干式螺杆真空泵，它可以解消封液的废液处理
和向工序侧的逆扩散以及对周边环境的污染等问题。

这种真空泵被采用于作为洁净能源大有希望的薄膜太阳电池的制造工序和有害物质PCB（多氯联苯）废弃物处理设施、VOC（挥发性有
机化合物）气体回收装置等，为保护环境助一臂之力。

另外，我公司还生产有水处理用的曝气鼓风机和烟气脱硫用的氧化鼓风机，还有移送污水和污泥的单螺杆泵、防止海洋污染的船舶用
污水处理装置和船舶用油水分离器等，有助于环境保护的产品品种齐全，种类繁多。

TAIKO螺杆式干式真空泵,是采用自主研发螺杆线性的干式真空泵，它低速转动连续排气，真空度可达到１０-1Pa，它可称为是划时代的干
式真空泵。实现了极限真空度的全球最低泵浦转速.从吸气起到排气采用非接触单段压缩,其特点是可以高效地排除空气或煤气中所含有的
粉尘雾粒,广泛用于半导体,液晶,太阳能电池,医药,化工等真空行业。单级结构简单，易于保养和维修，在排除凝聚性气体，腐蚀性气体
和反应生成物的半导体工艺中以及在硅单晶制造的抽真空等领域也发挥着威力。

各系列螺杆式真空泵：

1、SDV系列

     抽速：500-11500 L/min                      

     极限压力：10 pa

用途：一般产业机器

2、SDF系列

     抽速：500-850 L/min

     极限压力：30 pa

用途：一般产业机器

3、MDP/SLT系列

     抽速：1100-35000 L/min

     极限压力：0.7 pa

用途：化学工序

4、BEH系列

     抽速：7000-30000 L/min

     极限压力：0.08 pa

用途：半导体液晶工序

5、TDP系列

     抽速：1000-9000 L/min

     极限压力：0.13 pa

用途：半导体液晶工序

6、TD系列

     抽速：650-3000 L/min

     极限压力：0.7 pa

用途：半导体液晶工序

7、TDA系列

     抽速：150-700 L/min

     极限压力：1 pa

用途：物理、化学机器
螺杆式无油（干式）真空泵及其无油真空系统

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