扫描电镜(SEM)概述

　　扫描电镜 (SEM)主要用于直接观察固体表面的形貌。先利用电子透镜将一个电子束斑缩小到几十埃，用偏转系统使电子束在样品面上作光栅扫描。电子束在它所到之处激发出次级电子，经探测器收集后成为信号，调制一个同步扫描的显像管的亮度，显示出图像。样品表面上的凹凸不平使某些局部朝向次级电子探测器，另一些背向探测器。朝向探测器的部分发出的次级电子被集收得多，就显得亮，反之就显得暗，由此产生阴阳面、富有立体感的图像。像的放大倍数为显像管的扫描幅度比上样品面上电子束的扫描幅度SEM的分辨本领比电子束斑直径略大。

扫描电镜(SEM)操作规程

　　一、开机(电源开关和准备开关均为打开状态)

　　1、开水(系统不报警方可);

　　2、开总电源;

　　3、电气柜后面开关打开，将自动/手动(AUTO/MAN)开关拔到自动(AUTO)的位置，此时电炉进行加热;

　　4、抽真空30分钟后，断开准备开关;

　　5、 开系统软件;

　　6。、打开主机前面面板上的电气柜开关(CONSOLE POWER)，抽真空10分钟。

　　二、准备观测图像

　　1、打开V1阀，此时镜筒真空已准备好，用左手延径水平方向拉开V1阀，阀杆下面的弹片将V1阀固定在打开位置;

　　2、加高压(30KV)导电性不好的产品(20-25KV)，加高压时最好按着每步的速度逐步增加，如果长按按钮，高压会连续快速增加，不容易控制到要求的数值;

　　3、调节对比度和亮度：

　　①调节对比度，使图像上出现一些噪声为最佳，一般情况下在60左右;

　　②调节图像亮度，使屏幕显示的灰度合适，一般情况下，相应的数字参数值为0-20左右;

　　4、加灯丝：顺时针慢慢旋转灯丝加热旋钮，直至发射束流饱和，灯丝加热旋钮指示正常在6-7之间，调节偏压束流为100uA左右;

　　5、机械对中：每次换灯丝后需旋转镜筒头上的三个螺钉，使图像显示到最清楚的点;

　　6、物镜光阑对中(合轴)：

　　①选区，并挑选图像上的一个特征点;

　　②选择放大倍数1000-2000范围;

　　③反复调节粗调，使图像聚焦至不聚焦往反进行，观察图像的移动;

　　④调节物镜光阑的两个螺钮，使图像不发生位移或图像移动最小为止;

　　7、像散消除：选择“选区”位置，从放大倍数1000倍开始消像散，增加到欲观察的放大倍数下再次消像散直至图像没有拉长现象;

　　8、拍照、保存。

　　三、系统停机

　　1、关闭加热灯丝：逆时针旋转灯丝加热旋钮到底，旋钮标记指示在“ON”的位置，束流显示的束流为0UA;

　　2、将对比度降至最低，使其数字参数值为0，关闭高压，使其数字参数值为0;

　　3、关闭V1阀：用左手将V1阀阀杆下面的弹片沿上按在阀杆上，用手掌径向水平推V1阀，当V1阀完全推到底后，再用力推一下V1阀的阀杆，确保V1阀完全关闭;

　　4、关闭主机面板上的电气柜开关，打开准备开关，将主机后的开关自动/手动(AUTO)/(MAN)打到手动(MAN)的位置，冷却电炉30分钟。

　　5、关闭系统软件—关电气柜开关(后)—关总电源—关水。

扫描电镜(SEM)注意事项

　　1.进入工作室严禁大声喧哗

　　2.在真空度没有达到要求之前，镜筒隔离阀V1决不能打开

　　3.在扩散泵开始加热二十分钟期间，主阀V5决不能打开

　　4.真空控制方式从手动转自动时，要特别注意每个手动阀门是否为关闭状态

　　5.在没有进入高真空之前，决不能接通探测器高压，电子枪及灯丝加热电源

　　6.不要在关控制台电源(CONSOLE POWER)的同时。立刻放气到样品室和电子枪，以免引起电子枪探测器上残余高压放电，损坏灯丝及闪烁体

　　7.不要在通电情况下，进行印刷板及导线插头的插接

　　8.如果镜筒部分没有放气，不要拔掉物镜光阑杆

　　9.在样品室放气的情况下，不要手动打开主阀和V1阀

　　10.长时间不使用电镜时，每周至少保持抽真空两次，保持机器内真空度良好

　　11.观察机械泵的油不少于2/3

　　12.停水的时候，机器会出现报警，此时将主机后面板打开，接一盆凉水，用湿布给电炉手动降温，直至电炉不再热为止(30分钟左右)最后再关闭电气柜开关和总电源

扫描电镜(SEM)和透射电镜二者的区别

　　1. 透射式电子显微镜常用于观察那些用普通显微镜所不能分辨的细微物质结构;扫描式电子显微镜主要用于观察固体表面的形貌

　　2. 透射式电子显微镜镜筒的顶部是电子枪，电子由钨丝热阴极发射出、通过第一，第二两个聚光镜使电子束聚焦。电子束通过样品后由物镜成像于中间镜上，再通过中间镜和投影镜逐级放大，成像于荧光屏或照相干版上，扫描式电子显微镜的电子束不穿过样品，仅在样品表面扫描激发出二次电子。

　　3. 样品较薄或密度较低的部分，电子束散射较少，这样就有较多的电子通过物镜光栏，参与成像，扫描式电子显微镜不需要很薄的样品。

　　4. 扫描式电子显微镜的电子枪和聚光镜与透射式电子显微镜的大致相同，但是为了使电子束更细，在聚光镜下又增加了物镜和消像散器，在物镜内部还装有两组互相垂直的扫描线圈。物镜下面的样品室内装有可以移动、转动和倾斜的样品台。