布鲁克的新AcuityXR技术突破衍射极限-仪表展览网
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布鲁克的新AcuityXR技术突破衍射极限
2010/12/30 16:21:30
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  马萨诸塞州波士顿市11月29日,2010 -布鲁克公司(纳斯达克股票代码:BRKR)今天宣布,在材料研究学会(MRS)的2010年秋季会议的AcuityXR?,一种新的光学表面轮廓模式相结合的独特的,正在申请专利的布鲁克硬件和软件技术,使选择ContourGT?非接触式,三维光学表面廓线仪,打破光衍射极限,并提供了以前认为不可能实现横向决议。

  在许多应用的纳米级半导体,医疗和精密加工领域有今天的表面特征和缺陷的尺寸限制,由于检测或鉴定的光学衍射极限。这样微乎其微的特点和缺陷往往直接影响到功能,性能,质量和/或生产的产量和极大的兴趣是研究人员和生产质量保证/质量控制人员的一致好评。布鲁克光学表面轮廓与新装备系统AcuityXR模式已显示出低于130纳米宽的特点,这是前所未有的,在光学显微镜是近三倍比没有这种技术系统更高的分辨率。此外,AcuityXR使这种新的水平,同时保持精确的宽视场的视图和布鲁克非接触式,三维光学表面分析高的性能优势。随着AcuityXR,在狭窄的可重复性三维结构已被证明比提高5倍以上的因素,除了显示其能力非常优良特性,揭示一个真实的计量利益的技术。 AcuityXR是一个可选的功能,现已布鲁克ContourGT- K1的,X3和X8的光学表面廓线仪可用。

  “AcuityXR结合了增强的计量在ContourGT- K1的,X3和X8的系统,共同提供前所未有的横向光学显微镜分辨率的硬件技术实现新的测量算法,从根本上说,“罗斯问:史密斯先生,副总裁兼总经理布鲁克的手写笔和光学计量单位。 “这个了不起的新功能,这完全是对ContourGT系统上可用,是一个很大的好处向我们当前和未来的半导体,医疗和精密加工应用中的特征尺寸不断缩小,而对质量的需求不断增加的客户。

  马克河蒙克博士,纳米表面的布鲁克业务总裁说:“AcuityXR基于业界领先的性能,可重复性和ContourGT产品系列易于使用的功能建立将这一前所未有的成就,市场真正说明布鲁克的。持续致力于提供最高的价值nanosurface计量系统,我们的工业和研发的客户。“

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