名称

混气系统3路浮子

浮子流量计

三种不同量程的浮子流量计，控制精度4%

·A：10 - 100mL/min

·B：16 - 160mL/min

·C：25 - 250mL/min

机械压力表（混气罐）

·-0.1-0.15 Mpa

接头和气管

·在混气系统右侧安装三个气体进口

·两通道气体流入气体混合罐，另一个通道气体不通过气体混合管

·两个出口（可连接管式炉）安装在混气系统的左侧（一路混合气体和一路单独的气体）

·12”长1/4”直径的聚四氟管及快插接头

真空针阀

·采用ss304不锈钢

·安装在混气系统的右侧

安装带刹车的转向轮

外形尺寸：600 mm L x 600 mm W x 650 mm H

可选

CVD或者PECVD 液相气体发生器

净重

约75 Kg

质保期

一年保修，终身技术支持。

特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。