筛选
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● 操作简单,通常只需两键 (检漏和放气)
● 进口的多口分子泵
● 双灯丝自动切换
● 自动调零
● 自动校准
● 自动量程切换
SFJ-231型氦质谱检漏仪将广泛的应用于半导体工艺设备的维护、工业气体系统的检测与安装、元器件在组装前的漏率测试及要求高抽速、高灵敏度以及清洁测试条件下的应用场合。
SFJ-231测氡仪参数:
最小可检漏率:5x10 -12Pa*m3/S
检测范围:103~10 -12Pa*m3/S
最大进气口压:1000Pa
响应时间:<1s
吸枪模式:1x10 -8Pa*m3/S
环境温度:5°C~35°C
相对温度: <80%
供电电压、单向交流 220V±10%,50Hz
最大工作电流: 6A
检测口规格:DN25 ISO-KF
外型尺寸: (W)900x(D)560x(H)650
重量:72kg
吸枪:标准2.5m根据客户要求定制