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名称 | 内容 | ||
测量范围 | Z轴(垂直) | 160μm | |
X轴(水平) | 17.5mm | ||
分辨率 | Z轴(垂直) | 0.01μm/±20μm | |
0.02μm/±40μm | |||
0.04μm/±80μm | |||
测量项目 | 参数 | Ra、Rq、Rz、Rt | |
标准 | ISO、GB | ||
滤波器 | RC,PC-RC,Gauss,D-P | ||
取样长度(lr) | 0.25,0.8,2.5 (mm) | ||
评定长度(ln) | Ln= lr×n n=5 | ||
传感器 | 测量原理 | 位移式差动电感 | |
触针 | 天然金刚石,90锥角,5μm针尖半径 | ||
测力 | <4mN | ||
导头 | 红宝石,滑行方向半径40mm | ||
滑行速度 | lr=0.25, Vt=0.135mm/s | ||
lr=0.8, Vt=0. 5mm/s | |||
lr=2. 5, Vt=1mm/s | |||
返回 Vt=1mm/s | |||
示值误差 | 不大于±10% | ||
示值变动性 | 不大于6% | ||
电源 | 内置锂离子充电电池,用8.4V,1000mA充电器充电 | ||
外形尺寸 | 119×47×65mm | ||
重量 | 约380g |
LSR210主机 | 1台 |
标准传感器 | 1支 |
多刻线标准样板 | 1块 |
电源适配器(220V,50Hz) | 1个 |