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原子力显微镜(AFM)或扫描探针(SPM)技术,是测量表面形貌或表面微小作用力准确有效的技术。位于悬臂梁末端的探针与试样表面接触,并对试样表面进行数字化扫描。通过这种技术,我们可以得 到试样表面的超高分辨率三维形貌。这项技术特别适用于残留划痕、压痕以及其他纳米尺度表面特征形貌的高分辨率成像。 特点
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