岛津μEDX型能量色散型微区X射线荧光光谱仪大幅度地提高了传统的X射线荧光光谱仪无法完成的微小领域分析的灵敏度。配备新开发的X射线集束毛细管透镜，实现了最小分析直径达50μm的微区测定，适合半导体/电子部件/食品领域等高灵敏度、高分辨率分析。

仪器的特点：
采用岛津独创的Ｘ射线聚光透镜[集束毛细管透镜]，X射线只照射样品的50μmφ微小领域，实现高灵敏度、高精度分析。
1、可以在大气中进行从轻元素到重元素(Na～U：μEDX-1300；Al～U：μEDX-1200/ 1400)的分析。
2、配备双CCD(高倍率,低倍率)摄像头，可以在观察样品图像的同时方便地决定分析位置，进行分析。
3、标准配备无标样定量FP法、薄膜成分/膜厚分析用的薄膜FP法以及可以测定聚合物薄膜的背景基本参数（BG-FP）法。
4、 作为微区Ｘ射线荧光光谱分析装置，在世界上率先配备了5种1次Ｘ射线滤光片自动交换机构，可消除来自Ｘ射线管的特征Ｘ射线，提高信噪比。
5、配备多元素同时/自动扫描成图功能。采用高速扫描成图，在短时间内便可获得图像(μEDX-1200/1300)。追加透射观察单元(选购)，也可进行透射Ｘ射线的同时测定。
6、配备电子冷却式高计数率检测器。无需液氮，可进行高精度分析。
(μEDX-1400)
7、可轻松地进行电子材料/部件的镀层膜厚測定、异物检测、失效解析及成图分析。