-
- 地区
- 全部
-
- 会员级别
- 全部
EM01-PV-II激光椭偏仪特点:
1.高精度、高稳定性
2.特定角度样品台,适合单晶硅太阳能电池的测量
3.适合绒面测量
4.操作简单
5.快速测量
6.快速、高精度样品方位对准
7.多角度测量
8.一体化集成设计
EM01-PV-II激光椭偏仪应用领域:
单晶、多晶及各种薄膜太阳能电池的折射率和膜厚测量领域,既适合科研院所研究使用,亦适合工厂进行工艺研究分析和产线上产品检测以及EM01系列激光椭偏仪家族的传统领域,包括半导体、集成电路、微电子、光学镀膜、医学与生命科学、电化学、平板显示领域、磁介质存储、聚合物、新材料、金属处理等。
EM01-PV-II性能保证:
1.高稳定性的He-Ne激光光源、高精度的采样方法以及低噪声探测技术,保证了系统的高稳定性和高准确度;
2.高精度的光学自准直望远系统,保证了快速、高精度的样品方位对准;
3.稳定的结构设计、可靠的样品方位对准,结合先进的采样技术,保证了快速、稳定测量;
4.分立式的多入射角选择,可应用于复杂样品的折射率和绝对厚度的测量;
5.一体化集成式的仪器结构设计,使得系统操作简单、整体稳定性提高,并节省空间;
6.专用软件方便太阳能电池测试和建模。
7.量拓自有专利技术保障。
EM01-PV-II激光椭偏仪技术指标:
激光波长 |
632.8nm (He-Ne laser) |
膜层厚度精度 |
0.01nm (对于Si基底上110nm的SiO2膜层) 0.05nm (对于绒面Si基底上80nm的Si3N4膜层) |
折射率精度 |
1x10-4 (对于Si基底上110nm的SiO2膜层) 5x10-4 (对于绒面Si基底上80nm的Si3N4膜层) |
光学结构 |
PSCA |
激光光束直径 |
<1mm |
入射角度 |
40°-90°可选,步进5° |
样品方位调整 |
三维平移调节:±12.5mm(X-Y-Z三轴) 二维俯仰调节:±4° 光学自准直系统对准 |
样品台尺寸 |
Φ170mm |
单次测量时间 |
0.2s |
推荐测量范围 |
0-2000nm |
最大外形尺寸(长x宽x高) |
887 x 332 x 552mm (入射角为90º时) |
仪器重量(净重) |
25Kg |
- 询价产品:激光椭偏仪 EM01-PV-II激光椭偏仪
- 询价数量: /个
- 联系人:
- 联系电话: