二次离子质谱 EQS

应用：

    · 静态 /动态SIMS
    · 一般目的的表面分析
    · 整体的前端离子源，便于RGA和 SNMS
    · 兼容的离子枪/ FAB 枪
    · 成分/污染物分析
    · 深度分析
    · 泄漏检测
    · 与Hiden SIMS 工作站兼容

特点：

    · 高灵敏度脉冲离子计数检测器，7个数量级的动态范围
    · SIMS 成像，分辨率在微米以下
    · 光栅控制，增强深度分析能力
    · 45°静电扇形分析器, 扫描能量增量 0.05 eV/ 0.25eV FWHM.
    · 所有能量范围内，离子行程的最小扰动，及恒定离子传输
    · 差式泵3级过滤四极杆，质量数范围至2500amu
    · 灵敏度高 / 稳定的脉冲离子计数检测器
    · Penning规和互锁装置可提供过压保护
    · 通过RS232、RS485或Ethernet LAN，软件 MASsoft控制