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7200系列产品为针对125mm x 125mm至156mm x 156mm的单晶及多晶太阳能晶片之线上光学检测系统。快速及可靠的系统模组可提供产线制程上准确的检测结果,并透过对各制程的监控来增加生产线良率。7200系列目前包含颜色分类,印刷表面检测及裸晶片的尺寸量测等检测功能。
7211为外观颜色分类系统,可检查太阳能电池的颜色及均匀性。取像系统透过颜色标准片校正以及采用 CIELAB色彩模型,检测结果可以提供全片色彩座标之量化资料,并可用于反应镀膜厚度及制程变异所产生的颜色变化。
7212及7213为印刷表面品质之检测工具,藉由特殊的多层光源设计,系统可检测多样的瑕疵类型,甚至包含表面突起。
所有参数资料均储存于各系统的设定档(recipe)中,使用者可自由设定检测项目及检查标准。检查系统配置之相机、镜头及光源均透过测试片校正以确保检测的一致性。透过系统校正技术,使用者可以很容易从多台同型检查系统之间复制设定档参数资料。