三光束平面镜干涉仪专为与客户提供的设备组合而设计；这种干涉仪在一个单元内组合了三个干涉仪，因此可同时在轴向实现三个纳米级精度的长度测量。利用长度测量值之间的差值和相应光束间距可以高精度地确定出角度值。俯仰角和偏摆角测量的动态范围约为两分。
由一台超稳定波长的氦氖激光器同时为三个干涉仪提供光源，这样做是为了让三个长度测量值都基于同一参考长度。单模光纤波导将其输出光束传导至干涉传感测头。反射镜的运动被转换成调制信号，并传送给电子电源/信号处理单元。
在测量较大位移的时候，使用稳频氦氖激光器，并且针对气压和环境温度的变化对激光器进行校正，以此为基础来实现高测量精度。使用pc运行相关软件包，操作电子电源/信号处理单元并显示测量数据。
主要工作特点

·  同时实现不同量值的超高精度测量：
     - 三轴长度测量，或
     - 两轴长度测量加一个角度测量，或
     - 单轴长度测量加一对角度测量       

·  光源为高度稳频的he-ne 激光
·  单一激光器为三个测量臂同时提供光束
·  光束间距经过出厂标定

应用

·  导轨、工作台、显微镜和定位平台的激光干涉测量
·  在进行双轴或多轴长度测量时的高精度俯仰和倾侧校正
·  校准计量设备和机床
·  差动式测量（膨胀测量，材料测试）

·  更大范围内的角度测量（>±2’；可应特殊要求而提供）