日本尼可尼系列

UCP/UCR型	UCPM型	半导体、液晶、生物科技用途超纯净泵实现100MGB超LSI纯净要求世界第一的纯精度

特　　点

◆体积小结构简单无污染
　因为单片叶轮可以取得高压力，液体流道面积小可减少微生物滋生繁殖的空间；
　接触液体的部件数量少，金属离子的析出可以控制在微乎其微的程度。
◆彻底的表面处理
　与液体接触的部件以优质不锈钢精密加工成型，辅以特种研磨和电解处理，可达到严格的技术要求。
◆无需定期更黄部件
　由于没有螺纹管泵或隔膜泵那样频繁往复运动的部件或阀门，可以确保长期稳定性能，而且大幅度节省维护费用。
◆优良的耐热性能和耐久性能
　泵的零部件采用坚固耐蚀316L不锈钢、耐磨耐蚀的碳化硅和耐药耐热的聚四氟乙烯材质，在树脂泵不能对应
　的100℃以上的高温工况也可以适用。
◆防止微颗粒（微细不纯物）发生
　密封采用的是硬度极高的碳化硅材质外装式轴封，即使长时间运转其微细颗粒发生量亦非常少。
　此外，由于可以在轴封箱配置轴封冲洗外排装置，小于0.5微米的不纯物可以控制在一个以内。
◆性能稳定
　尼可尼超纯净泵不产生螺纹管泵或隔膜泵所不可避免的脉动和振动，所以供液稳定，性能可靠。

结　　构

　　　　机械密封型　　　　　　　　无轴封型（磁力驱动型）

主要部件：

部件号	部件名称	材质
040	轴承	碳化硅
051a	轴封（动）	碳化硅
051b	轴封（静）	碳化硅
102	泵体	316不锈钢
103	泵盖	316不锈钢
107	叶轮	316不锈钢
108A	泵轴	316不锈钢
108B	泵轴	碳化硅

*108B可以用316L不锈钢

微颗粒对策

◆外装式机械密封说明
外装式机械密封的固定环在泵的内部，形状复杂的转动环和弹簧等装在轴封箱外侧，所以污染泵内洁净液体的可能性比较小。
此外，由于轴封接触面产生的颗粒与形成密封膜的液体随着轴的旋转排出泵外，残留在泵内的可能性很少。
◆轴封冲洗外排装置（选用配件）
在上述机械密封的摩擦面设有放射状的沟槽，使含有微细不纯物的恶意易
于排出。此外，轴封箱通往外部的排出口可以与真空排气装置接续，通过对轴封箱的真空度调节对排水量进行适当控制。

标准性能曲线图

材　质　表

泵体泵盖	SS316不锈钢＋特殊电解研磨
叶轮	SS316不锈钢
机械密封	碳化硅x碳化硅(外装式并可配用不纯物外排装置)
欧形环	聚四氟乙烯

用　　　　途

超纯净水、热纯水、臭氧水、剥离溶剂、异丙醇、烃族溶剂、CMP抛光液的输送、循环、喷淋、冲洗
臭氧气、氮气、氢气等与纯水和超纯水的混合溶解。