筛选
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- 地区
- 全部
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- 会员级别
- 全部
分辨率
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0.10nm(晶格分辨率)
0.18nm(点分辨率) |
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加速电压
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300kV, 200kV(*1), 100kV(*1)
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放大倍率
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连续放大模式
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1,000 - 1,500,000×
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选区模式
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4,000 - 500,000×
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低倍模式
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200 - 500×
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电子枪
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灯丝
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LaB6(六硼化镧灯丝,直流加热)
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灯丝交换
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自动升降式电子枪
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高压电缆
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阻抗电缆
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照射系统
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透镜
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四级透镜
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聚光镜光阑
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4孔可变
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探针尺寸
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微米束模式:0.05 - 0.2µm(4级)
纳米束模式:1 - 10nm(4级) |
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电子束倾斜
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±3°
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成像系统
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透镜
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五级透镜
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聚焦
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图像摇摆调整
利用像散监视器进行正焦补偿 聚焦优化 |
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物镜光阑
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4孔可变光阑
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选区光阑
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4孔可变光阑
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电子衍射
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选区电子衍射
纳米探针电子衍射 会聚束电子衍射 |
相机长度
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250 - 3,000mm
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样品室
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样品台
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5轴优中心海帕测角台
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样品尺寸
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3mmΦ
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样品位置追踪
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X/Y = ±1mm, Z = ±0.3mm
通过CPU控制马达驱动 |
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样品位置显示
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自动驱动,自动跟踪
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样品倾斜
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α = ±15°, β = ±15°
(日立双倾样品台(*2)) |
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防污染
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冷阱
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烘烤功能
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中温烘烤功能
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观察室
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荧光屏
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主屏:110mmΦ
聚焦屏:30mmΦ |
目镜
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7.5×
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照相室
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区域选择
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整张照相/半张曝光
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胶片
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25张(2套胶片盒)
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图形用户界面
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操作系统:Windows XP®(*3)
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显示器
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19英寸显示器
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功能
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数据库,测量,图像处理
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数码CCD 相机(*4)
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相机耦合
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透镜耦合
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有效像素
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1,024 × 1,024 像素
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A/D 分辨率
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12 位
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真空系统
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电子枪
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离子泵:60L/s
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镜筒
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涡轮分子泵:260L/s
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观察室/照相室
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扩散泵:280L/s
前级泵:135L/min × 3 |