扫描电子显微镜 S-3400N

日立S-3400N型扫描电子显微镜在不需要金属涂层或其它复杂的样品制备技术条件下，此款新产品完全满足了用户对于含水，含油，和不导电样品的研究需求。

仪器主要特点：

1、先进的自动合轴功能（自动设定束流，自动光阑校准等）

2、更高的分辨率（3kV时10nm）

3、实时全屏图像混合显示，2分割画面及信号混合显示功能

4、新开发的高灵敏度固定背散射电子检测器

5、计算机控制优中心5轴马达台可以-20/+90度倾斜（II型）

6、可在80mm的样品高度进行元素分析（II型）

7、具有最佳几何条件的分析样品室，可以同时安装EDS，WDS和EBSD等多种自选件

8、由于采用涡轮分子泵（TMP），换样快，体积小，耗电少，无需冷却循环水系统

仪器技术参数：

项目		描述
分辨率	二次电子分辨率	30kV，3.0nm（高真空模式）
		3kV，10nm（高真空模式）
	背散射电子分辨率	30kV，4.0nm（高真空模式）
放大倍率		×5 - ×300,000
加速电压		0.3 - 30kV
低真空范围		6 - 270Pa 图形菜单
图像移动		±50µm, WD = 10mm
最大样品尺寸		¢200mm
样品台		I型	II型
	X	0 - 80mm	0 - 100mm
	Y	0 - 40mm	0 - 50mm
	Z	5 - 35mm	5 - 65mm
	R	360°	360°
	T	-20 - 90°	-20 - 90°
	最大样品高度	35mm（WD = 10mm）	80mm（WD = 10mm）
	可观测区	¢105mm	¢130mm
	驱动类型	手动	5轴马达驱动
电子光学	电子枪	预对中钨灯丝
	物镜光阑	可移动4孔物镜光阑
	枪偏压	4偏压
	探测器	二次电子探测器高灵敏度半导体背散射电子探测器
	分析位置	WD = 10mm, 取出角 = 35°
显示器	语言	英语
	操作系统	Windows®XP
	控制模式	鼠标，键盘，旋钮
	显示器	19英寸液晶显示器（如有更改，恕不另行通知）
	自动校准	自动设定束流，自动合轴
	自动画面调整	自动聚焦，自动消象散/聚焦，自动调亮度和对比度
	存储图像精度	640 × 480 像素, 1,280 × 960 像素, 2,560 × 1,920 像素, 5,120 × 3,840 像素
	图像存档	搜索功能/内置图像数据库和图像处理功能
	图像格式	BMP, TIFF, JPEG
	自动数据显示	加速电压，放大倍率，微标尺，单位，底片号码，工作距离，日期/时间，检测器，压力值
	图像显示模式	全屏模式：1,280 × 960 像素小屏模式：640 × 480 像素双屏模式：640 × 480 像素 ×2 信号混合模式
真空系统	操作	全自动程序
	涡轮分子泵	210L/Sec. × 1
	机械泵	135L/Min.（162L/Min，60Hz） × 1
	安全措施	断电保护，漏电保护
辅助功能		光栅旋转
		动态聚焦/倾斜补偿功能
		动态消像散
		自由排版打印功能
		三维动画维修指南
		测量方便
		图像倾斜