球差校正扫描透射电子显微镜 HD-2700

日立HD-2700型球差校正扫描透射电子显微镜配备了与德国CEOS GmbH公司共同开发的球差校正仪，显著提高了扫描透射电子显微镜的性能，更适合高级纳米技术研究。由于球差校正系统校正了限制电子显微镜的性能的球差，使其与标准型号显微镜相比，分辨率提高了1.5倍，同时，探针电流提高了10倍。

仪器主要特点：

1、高分辨率扫描透射电子显微镜成像

●HAADF-STEM图像0.136nm，FFT图像0.105nm（高分辨率镜头）

●HAADF-STEM图像0.144nm（标准镜头）

●明场扫描透射电子显微镜图像0.204nm（w/o球差校正仪）

2、高速，高灵敏度能谱分析：探针电流×10倍

●元素面分布更迅速及时

●低浓度元素检测

3、操作简化

●自动图像对中功能

4、从样品制备到观察分析实现无缝连接

●样品杆与日立聚焦离子束系统兼容

5、配有各种选购件可执行各种评估和分析操作

●同时获取和显示SE&BF, SE&DF, BF&DF, DF/EDX面分布和DF/EELS面分布图像

●低剂量功能（使样品的损伤和污染程度降至最低

●高精度放大校准和测量

●实时衍射单元（同时观察暗场-扫描透射电子显微镜图像和衍射图案）

●采用三维微型柱旋转样品杆（360度旋转），具有自动倾斜图像获取功能

●ELV-3000即时元素面分布系统（同时获取暗场-扫描透射电子显微镜图像）

仪器技术参数：

项目		描述
图像分辨率	w/o球差校正仪	保证 0.204nm（当放大倍数为4,000,000时）
	w球差校正仪	保证 0.144 nm（当放大倍数为7,000,000时）（标准镜头）
	w球差校正仪	保证 0.136nm（HAADF图像）保证0.105 nm（通过FFT）（当放大倍数为7,000,000时）（高分辨率镜头）
放大倍数		100倍至 10,000,000倍
加速电压		200 kV, 120 kV
成像信号		明场扫描透射电子显微镜：相衬图像（TE图像）暗场扫描透射电子显微镜：原子序数衬度图像（Z衬度图像）二次电子图像（SE图像）电子衍射特征X射线分析和面分布（能谱分析）电子能量损失谱分析和面分布（EV3000）
电子光学系统	电子源	肖特基发射电子源
	电子源	冷场致发射器
	照明透镜系统	2-段聚光镜镜头
	球差校正仪（*）	六极镜头设计
	扫描线圈	2-段式电磁感应线圈
	原子序数衬度收集角控制	投影镜设计
	电磁图像位移	±1 μm
试片镜台	样品移动	X/Y轴 = ±1 mm, Z轴 = ±0.4 mm
试片镜台	样品倾斜	单轴-倾斜样品杆：±30°（标准镜头）, ±18°（高分辨率镜头）
真空系统		3个离子泵，1个TMP
真空系统	极限真空	10-8 Pa（电子枪）, 10-5 Pa（样品室）
图像显示	个人电脑／操作系统	PC/AT兼容, Windows® XP
	监视器	19-inch液晶显示器面板
	图像帧尺寸	640 × 480, 1,280 × 960, 2,560 × 1,920 象素
	扫描速度	快扫，慢扫（0.5至320秒／帧）
	自动数据显示	记录序号，加速电压，下标尺，日期，时间