原子力显微镜 XE-150

Park Systems XE-150型大样品原子力显微镜的推出对大尺寸样品进行无损检测成为了一种切实可行的技术手段。XE-150分辨率高，性能稳定可靠。样品台可在150毫米见方或者200毫米见方的量程内自动移动，无论是扫描小尺寸样品还是大尺寸样品，操作起来都是得心应手。如使用Step-and-Scan功能可帮助用户按照定制的计划对多个目标区域进行连续自动扫描，极大的提高了检测效率。

仪器技术参数(机械部分)：

1. XY扫描器：100µm×100µm（闭环），可选配200µm×200 µm

2. Z扫描器：12µm (可选配25µm)

3. 水平度：50µm线扫描垂直偏差不超过2nm

4. XY和Z扫描器的正交性：1.0°

5. 样品台移动范围：200mm×200mm（X/Y），27.5mm (Z)

6. 样品尺寸：200mm×200mm

7. 光学观察：垂直光路设计，可直接观察微悬臂和样品

仪器技术参数(电子部分)

1. 微处理器：600MHz，4800MIPS DSP

2. 模数/数模：16位，500kHz采样频率

3. 图像采集：同步自动采集16幅图像，分辨率高达4096×4096像素

4. 通讯方式：采用基于TCP/IP协议的通讯方式与计算机联接

5. 符合CE认证标准

标准工作模式：

. 真正非接触模式(True non-contact mode)

. 接触模式(contact mode)

. 相位模式(phase imaging)

. 横向力模式(LFM)

扩展工作模式：

. 力测量（Force measurements）

. 导电（Conductive AFM）

. 电力（Electric Force）

. 电子 (Electrical)

. 磁性 (Magnetical)

. 机械 (Mechanical)

. 热 (Thermal)

主要特点：

一、彻底消除了扫描器的交叉耦合

二、无损检测将分辨率提高到了极致

三、易于同其他光学设备组合使用

四、可便捷的更换样品和探针

五、可对多目标区域进行自动扫描

六、 150/200mm全程移动样品台