主要技术指标

       1、输入原气

            本纯化装置允许原料氩气中的氧含量≤3000ppm、N2≤200ppm、水≤1000ppm(即露点低于-2 0 ℃)，一般瓶装纯氩均能满足这些要求。

       2、输出纯气

          纯气的最大输出能力为4m³/h

          纯气中杂质含量：O2≤0.2ppm     N2≤0.2ppm

                          H2O≤1ppm       即露点≤-76 ℃

                          C的氧化物≤0.1ppm  S、P的氧化物≤0.1ppm

                          尘埃粒子数（≥0.3µm）3-5个/升，即100级

        3、工作条件

           工作压力≤1.0MPa

           催化塔工作温度      260℃      吸附塔工作温度   室温

           合金吸附塔工作温度  300℃      吸附塔再生温度   400℃

           再生用气量  500ml/min

        4、电源

           电压 220V    催化塔  0.6kw    吸附塔工作时  0kw

           合金吸附塔工作时0.6kw         再生时        1kw

        5、外形和重量

           450mm×635mm×1210mm           130kg