筛选
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- 地区
- 全部
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- 会员级别
- 全部
重现性
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<0.003MM
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外形尺寸(W×D×H
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612×696×792mm
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解析力标准
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0.4um
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台面大小
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612×413mm
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位移驱动
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0.1um
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机台重量
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185kg
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线性精度
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±(3+L/150) um
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放大倍数
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15X-100X
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精度
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±3um
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台面荷重
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36kg
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X行程
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320mm
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测量速度
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500mm/min
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Y行程
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200mm
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CCD
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SONY高清晰
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