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等离子灰化机

价格： 面议

产品型号：PR500

公司名称：深圳市木村机电有限公司

所在地：广东深圳

发布时间：2016-02-04

联系人：廖经理

联系电话：13922814340

深圳市木村机电有限公司

产品简介

等离子灰化机：大口径石英工作仓配备，小型一体化设计，操作简单的触摸屏控制面板

产品详情

等离子灰化机性能特点：

等离子灰化机:大口径石英工作仓配备,小型一体化设计,操作简单的触摸屏控制面板  

等离子灰化机性能用途：
硅晶圆表面光刻胶残留物的灰化
零部件清洗
界面活性处理
微量研磨
基板的表面处理

等离子灰化机性能规格：

型号	PR300	PR301	PR500/PR510
同调方式	手动2轴同调方式		自动调谐
反应槽	3室超硬质玻璃φ64×160mm×3	1室超硬质玻φ118×160mm	石英制φ215×305mm
加热器	不锈钢线圈加热器		手动/触摸屏联动控制
配管材质	SUS不锈钢、特佛伦、铜、铜合金	SUS不锈钢、特佛伦
方式	DP方式
频率	13.56MHz
反应气体	1系统		2系统
外形尺寸 (W*D*Hmm)	438×520×556mm	438×520×656mm	438×520×760mm
输出功率	Max.300W		Max.500W
价格：	请问询

                                                                                               

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