Felles 翘曲度测量仪 felles

Felles 翘曲度测量仪是全球范围内功能强大的仪器，一套仪器可以测量：热沉，晶圆(wafer),太阳能电池和玻璃的翘曲度，应力以及表面形貌。Felles 翘曲度测量仪适合光伏电池翘曲度测量,太阳能电池翘曲度,晶圆翘曲度测量,硅片翘曲度测量,晶片翘曲度测量。

Web: www.felles.cn （激光光学精密仪器网）
www.f-lab.cn （分析测试实验仪器网）

Felles 翘曲度测量仪特点

特别为半导体晶圆（wafer)和太阳能电池（solar cell)的翘曲度（warp) 和弯曲度(bow)以及表面形貌(topography)的测量而设计，

可以测量晶圆翘曲度（wafer warpage) 和晶圆表面形貌, 晶圆应力,硅片张力,

太阳能电池量子效率，

适合科研单位使用，

适合工业客户大产品、

也高效率的晶圆翘曲度和表面形貌的检测的需要，

详情浏览：http://www.felles.cn/jingyuanceshi/qiaoquduceliang.html

我们还根据不同晶圆类型提供如下两种硅片Felles 翘曲度测量仪：
1. 非反射型：适合晶圆表面覆盖晶圆保护膜/胶带（wafer tape)，图案化晶圆 /图样化晶圆（patterned wafer)，粗糙的晶圆的应用；
2. 高反射型：适合晶圆表面光滑 / 镜反射的应用。

Felles 翘曲度测量仪主要特色：
× 适合不同尺寸的晶圆检测，从0.5’‘到12''的直径；
* 标准检测能力为：每小时可检测2000个晶圆或更多太阳能电池；
× 同时测量多个晶圆或太阳能电池；
× 测量镀膜后的晶圆或solar cell;
* 分析太阳能电池或晶圆应力和张力；
* 对晶圆表面进行图像分析；
* 测量图案化晶圆或非图案化的晶圆；
* 具有太阳能电池的量子效率测量选项供选择

Felles 翘曲度测量仪主要参数：
× 翘曲度测量范围：1-20微米；
* 重复精度：百分之0.5 （1 sigma);
* 给出结果：曲率半径,晶圆弯曲高度，翘曲度，测量日期和时间；
* RMS粗糙度mapping: 0.5-20A （可选项）；
*光源：根据用户的应用而配备不同光源；
* 探测器：高分辨率探测器阵列并配备亚像素软件；

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