Felles 极紫外光源

Felles公司提供的高能量的Felles 极紫外光源原产于欧洲，超级紧凑，易于使用。Felles 极紫外光源有发射头和电源组成，方便移动，可计算机控制工作，发出13.5nm的远紫外光线。
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Felles 极紫外光源特点

基于毛细管放电原理，

电能转移至流经毛细管的热气,产生热等离子体。

工作参数可调，适合宽光谱范围使用。

Felles 极紫外光源产品应用

反射测量（掩膜，光学计量），

光学树脂测量，荧光光谱，

光电发射，辐射，光刻，显微成像等

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