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功能薄膜特性测试仪 型号:UKSY-5 |
货号:ZH9392 |
产品简介 本测试仪是多用途综合测量装置,开展半导体材料的电阻性能的测试。由四探针测试仪和非晶硅薄膜电导率测量仪组成。四探针测试仪由主机、测试架等部分组成,测试结果由数字表头直接显示。主机主要由高灵敏度直流数字电压表和高稳定度 恒流源组成。非晶硅薄膜电导率测量仪由样品室、温控系统、真空系统、高阻测量系统等部分组成。 测量范围: 电阻范围:1×106~1×1017Ω; 电 阻 率:0.001~200Ωcm 电 导 率:0.005~1000s/cm 可测晶片直径: 200mmX200mm 探 针:碳化钨或高速钢 探针间距:1±0.01mm 针间绝缘电阻:≥1000MΩ 机械游移率:≤0.3% 本底真空度:≤10Pa 气压可控范围:10~400Pa 衬底加热 温度:室温~200℃ |
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