氦质谱检漏法是根据质谱分析的原理，以氦作探索气体，对各种需密封的容器的漏隙进行快速定位和定量检测的理想的方法。因氦是隋性气体，对大气无污染，使用安全；氦原子量小、粘度小，易渗透过任何可能存在的漏率，检测灵敏度高、速度快、适用范围广；加之氦在大气中含量少（仅万分之五），离子质量与其它气体离子质量相差很大，不易受干扰，不会错判。与当今诸多检漏方法（如气泡法、卤素检漏法等）相比，它是佼佼者。
性能指标：
氦质谱检漏仪对比
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  型   号            最小可检漏率Pa.m3/s
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  XF1801-ZQLS-23B                 2·10-11
  XF1801-ZQLS-24B                 2·10-11
  XF1801-ZQLS-24C                 2·10-11 
 XF1801-ZQLS-26D/T                5·10-12
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  型   号              反应(清除)时间 s
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  XF1801-ZQLS-23B                    ＜3
  XF1801-ZQLS-24B                    ＜3
  XF1801-ZQLS-24C                    ＜3
 XF1801-ZQLS-26D/T                   ＜3
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  型   号                  读数方式
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  XF1801-ZQLS-23B                 表头（mV）
  XF1801-ZQLS-24B         表头和数字（量程自动切换）
  XF1801-ZQLS-24C         表头和数字（量程自动切换）
 XF1801-ZQLS-26D/T                 数字直读
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  型   号                  特    点
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  XF1801-ZQLS-23B             单主机，带标准漏空
  XF1801-ZQLS-24B      带一套粗抽系统（泵2XZ-4B），配有一只校准漏孔
  XF1801-ZQLS-24C      带二套粗抽系统，适用于批量检漏，配有一只校准漏孔
 XF1801-ZQLS-26D/T     涡轮分子泵（德国莱宝50型）前级泵
               （日本GLD030）粗抽泵（英国
               EDWARDERV12），配有一只校准漏孔

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